多联玻璃过滤器制作采用的是硅微细加工工艺和硅深层刻蚀工艺。在设计多联玻璃过滤器时,至少有两个问题需要考虑:(1)过滤器的结构。传统的过滤器称为膜,透过性和筛选性是膜的两个重要特性[3]。如果把多联玻璃过滤器近似看作一种滤膜,由于其孔径大,透过性好,因此流体流速快,过滤通道不容易堵塞,但筛选性差,只能过滤比其孔径大的微粒;(2)制作工艺。多联玻璃过滤器的制作工艺要尽量简单,掩模版的使用以及硅 硅键合、高聚物键合的次数要尽量少[4]。基于这些考虑,本文设计了在硅基底上刻蚀出深200μｍ的矩形槽,并在槽的底部刻蚀线宽10μｍ(理论设计)、周期40μｍ、有效过滤面积为10ｍｍ×3ｍｍ的条状网栅,形成条栅状多联玻璃过滤器(图1)。加工时双面光刻一次,不需要掩模版的堆迭,也不需要硅 硅或者硅 玻璃的键合,干法刻蚀则可保证狭缝的尺寸和垂直度。

　　此多联玻璃过滤器由两段组成,*段主要是圆筒形玻璃纤维膜压滤芯(管状28根)组成过滤段,滤芯安装在有支座的管板上,管板的每个支座都有一根Ｚ形或Ｘ形的支撑杆,滤芯及其封头通过支撑杆,用螺栓牢固地固定在管板上。再用固定架将滤芯的自由端固定起来,通过拆装固定架和螺栓,可以拆装、清洗、更换滤芯。第二段为分离段。分离段内安装有由不锈钢金属丝网构成的丝网垫层分离除雾、聚结装置,过滤段与分离段之间用管板隔开,多联玻璃过滤器下部是一个储液罐,此罐与过滤、分离段相对应地分成两段,过滤段和分离段分离出的液体分别通过各自的降液管进入储液罐中。

　　多联玻璃过滤器采用气动排污阀，反冲洗历时短，反冲洗耗水量少，环保经济。易损件少，无耗材，运行维护费用低，操作管理简单。结构设计紧凑合理，占地面积小，安装移动灵活方便。运行，可以根据不同水源和过滤精度灵活调整反冲洗压差时间和时间设定值。本装置内衬微孔滤膜，可用于化学分析，仪器分析，卫生检验，制药工业，生物制品和农药，石油，环保监测等方面液体过滤，以监测和除去液体中的微粒和细菌。多联玻璃过滤器主要应用于水相,有机相,及腐蚀性液体的过滤,用于特定污染物的分析，特别推荐用于HPLC流动相的过滤,有一定的脱气作用,以保证流动相的洁净，防止HPLC液路的堵塞.也可用于无菌试验，培养除菌过滤,热敏性药物的除菌过滤。

　　多联玻璃过滤器是设置在流体系统中,用于过滤流体中的粒子以控制污染的一种装置。表面过滤作用是通过固体污染物的粒子碰撞而滞留在单一平面或面上的毛孔或通路的基体上而完成的,过滤作用仅仅发生于这一表面上。表面过滤能有效地收集大于毛孔尺寸的粒子,但却不能收集纤维和比毛孔尺寸小的粒子。深度过滤是通过固体污染物碰撞而留在连续的(或深度的)毛孔的基体上而完成的。过滤不仅在介体表面进行,而且还在介体的整个厚度上进行。多联玻璃过滤器通过深度过滤能有效地收集大于zui大毛孔尺寸的粒子和纤维,同时,凭借于其过滤介体的型式和厚度,它也能同样收集一部分比zui大毛孔尺寸小的污染物。